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FPD制造设备
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PHOTO MASK设备
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光刻胶开发设备
蒸镀掩膜板
爱美客农业科技(苏州)有限公司
爱美客农业科技(苏州)有限公司,由日本微铁克株式会社通过微铁克(中国)投资有限公司、日本Mebiol 株式会社、亭林资本等共同投资创建,位于昆山巴城的示范农场占地177.8 亩,总投资3000万美金。 主要利用在现代农业中先进的Imec 栽培技术及“智慧农业”种植【高附加值番茄】等蔬果农产品,同时代理销售单向渗透水凝胶膜。
lumiotec有机EL照明面板
Lumiotec 成立于 2008 年 5 月 28 日,是一家专门从事照明用有机 EL 面板的公 司。自成立以来一直致力于有机EL照明面板的研发、制造及销售, 2018年成为VTEC集团下属子公司。 Lumiotec的日本米泽工厂于 2009 年开始运营,在先进技术和严格的质量控制下运营,实现了大规模生产用于照明的有机 EL 面板。 OLED照明产品具有超薄结构设计、高色彩饱和度、低能耗、无汞环保、无紫外线的优点,其应用正在向住宅、办公场所、商业建筑、交通工具等领域不断推广中,为人们的日常生活创造一个崭新的人性化环境。我们将继续不断研发、利用OLED的特性营造一种全新的照明设计和更好的生活空间。
照明灯具
VTEC集团于2019年7月,与咸阳彩虹光电科技有限公司合资建立咸阳虹微新型显示技术有限公司(CHVT),总部位于陕西省咸阳市秦都区高科一路1号。公司主要从事OLED照明灯具、照明产品及零部件的研发、设计、生产、销售,竭力为客户提供优质的产品和售后服务。
显示行业
VTEC集团在企业发展中,严格遵守各国的环境法律法规,并且不断创新,努力提供环保低碳的设备,提高客户的生产效率和减少电力消耗,减少对环境的影响。
检测设备系列
Nano System Solutions (NSS)于2019年成为VTEC集团的全资子公司。NSS主要面向国内市场提供Wafer Edge/正反面检查设备、Nanotography检查设备、以及Maskless曝光机,作为VTEC集团的一员,将基于日本市场汲取的技术和经验,在中国市场开展业务。
全自动MRAM探针系统
集团公司OHT正在推进半导体非接触式电气检查设备业务,采用FPD用O/S测试仪中掌握的非接触电气检查技术的半导体检查装置,特别是先进设计的MRAM检查装置得到了很高的评价,实现了MRAM全自动检测的商业化。
全自动MRAM探测器系统
照明发光板
大型玻璃基板曝光设备 RZ
大型玻璃基板曝光设备RZ是CF(彩色滤光片)工艺的核心曝光设备,在FPD(平板显示器)生产中很重要。RZ是基于NSK Technology于1994年发布的用于BM(Black Matrix)工艺的曝光设备。此后随着FPD的演进不断发展并取得成果,并于2018年制造并售出一台兼容G10.5的机器(约3m x 4m)。
外观检查设备 Capricorn(AOI)
Capricorn 是一种用于 FPD 制造过程的自动外观检测设备。由专用线阵CCD相机拍摄的图像信息,通过高性能图像处理装置进行分析,瞬间输出缺陷信息(位置、有无、形状、OK/NG等)。 缺陷信息用于分析过程中的问题和良率管理。例如,缺陷信息被扩展运用到检测设备下游的缺陷校正设备。此外,从缺陷发生的位置和内容上可以立即掌握上游工艺中的具体装置及缺陷发生了故障。 从 2002 年推出至今,该设备已广泛用于 FPD(平板显示器)的多种制造工艺,可处理最大约 3 x 3.4 m 的玻璃基板。特别是在LCD(液晶显示器)制造过程中的CF(彩色滤光片)工艺和CELL工艺(TFT基板和彩色滤光片基板的贴合工艺),以及模块工艺中被广泛应用。
彩膜缺陷修正设备 Jupiter(CF Repair)
Jupiter是修正FPD制造工序中产生的缺陷的装置,例如修正成膜时产生的突起状缺陷、膜内混入异物、像素和布线图案缺失等多种缺陷。通过使用先进开发的多功能校正头和高速载物台,可以高精度、高速地校正缺陷。此外,它还配备了高性能显微镜,可以根据缺陷的形状进行适当的放大,让您以清晰的图像观察和分析缺陷。 Jupiter 自 1999 年推出以来一直被所有参与 FPD 制造的客户使用,由于修正品质高、可靠性高、运用方便等原因,特别是在彩色滤色片(CF)工程方面取得了很高的交货业绩,现在也获得了很高的评价。
TFT 缺陷修正设备 Taurus (TFT Repair)
TFT(Thin Film Transistor)工艺是FPD制造工艺中极为重要和复杂的工艺。LCD(液晶显示器)和OLED(有机EL显示器)的性能和质量很大程度上受TFT所用技术和质量的影响。 Taurus 是一种缺陷校正设备,并随着显示器的发展,不断提高精细化、高难度化的TFT 制造的良率管理 , 通过气窗激光CVD可以局部形成金属膜,并修正金属布线中的开路缺陷。除了通过应用导电材料来修正缺陷外,还可以使用高性能激光进行高精度和低损坏的修正。此外,通过采用高速载物台,即使对于尺寸为 3m x 3.4m 的玻璃基板,也缩短了对其处理时间。
精密坐标测定设备 Mercury (TP/CD)
FPD 是通过在巨大的玻璃基板上精确堆叠多层精细图案(例如细线和电极)而制成的。此外,LCD(液晶显示器)和OLED(有机EL显示器)是通过在TFT(薄膜晶体管)基板上叠加滤色器(CF)基板和气相沉积掩模,经过各种工艺完成的。 Mercury 是一种坐标测量设备,可在需要叠加精度的 FPD 制造过程中以亚微米精度测量高达 3m x 3.4m 的各种基板。它还支持几微米的微小像素图案的尺寸测量,这在制造用于智能手机的高清 OLED 时是必需的。 从 2000 年开始销售至今,它拥有非常高的交付记录,并且现在仍然受到高度评价。
微小尺寸测定设备 Venus(CD)
随着 FPD(平板显示器)、TFT(薄膜晶体管)的不断高精细化、复杂化,微尺寸测量设备作为良率管理工具也变得越来越重要。 Venus是一款微尺寸测量机,可测量高达3m x 3.4m的各种基板,具有亚微米精度,支持各种测量要求。
光罩外观检查设备 Gemini(AOI)
由于中小尺寸OLED的产量以及使用G10.5(约3m x 3.4m)母玻璃的FPD产量的增加,促进显示器的光掩模高精细化和大型化发展。光罩检测装置Gemini是一种简化的高精度X轴导气装置,与高刚性石材台面立体紧密结合的主动隔振台,高精度高刚性光罩支架,先进的旋转结构,除了陶瓷垂直导流器等V-TECHNOLOGY先进技术和内部CAD数据库转换电路进行比较检测外,还具备“mura映射”和“微接触孔高灵敏度检测功能”等先进的逻辑图像处理引擎,提供高速、高精度的外观检测,满足 8K 显示器和中小型有机 EL 显示器的光掩模需求。 此外,该设计足够灵活以适应工厂布局,例如半内置隔振台和包含薄膜处理系统的平面,以便实现对 AGV 的直接访问。
光罩缺陷修正设备 Sculptor(Repair)
Sculptor是专门用于FPD光掩模缺陷修正的缺陷修正设备。 开放缺陷(丢失或丢失图案)可以通过气体窗口激光 CVD 进行修正。此外,它还配备了针对修复短缺陷(异常图案连接)的激光器,可实现高质量的缺陷修正。它还支持具有半色调图案(光穿过金属膜的图案)的光掩模缺陷修正。