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外观检查设备 Capricorn(AOI)
Capricorn 是一种用于 FPD 制造过程的自动外观检测设备。由专用线阵CCD相机拍摄的图像信息，通过高性能图像处理装置进行分析，瞬间输出缺陷信息（位置、有无、形状、OK/NG等）。
缺陷信息用于分析过程中的问题和良率管理。例如，缺陷信息被扩展运用到检测设备下游的缺陷校正设备。此外，从缺陷发生的位置和内容上可以立即掌握上游工艺中的具体装置及缺陷发生了故障。
从 2002 年推出至今，该设备已广泛用于 FPD（平板显示器）的多种制造工艺，可处理最大约 3 x 3.4 m 的玻璃基板。特别是在LCD（液晶显示器）制造过程中的CF（彩色滤光片）工艺和CELL工艺（TFT基板和彩色滤光片基板的贴合工艺），以及模块工艺中被广泛应用。
- 产品描述
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应用
FPD的主要制造工艺
LCD：TFT工艺、CF工艺、CELL工艺、模组工艺等。
OLED：TFT工艺、模组工艺等。
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