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Maskless曝光机
Maskless曝光机采用作为空间光调制器之一的数字微镜装置（Digital Micromirror Device：DMD）作为曝光图案生成器，这是一种将DMD上放映的图案数据缩小投影到光刻胶上的数字曝光装置。因为可以直接曝光在电脑上制作的曝光数据，所以可以自由地创建曝光模式。
检测设备系列
Nano System Solutions (NSS)于2019年成为VTEC集团的全资子公司。NSS主要面向国内市场提供Wafer Edge/正反面检查设备、Nanotography检查设备、以及Maskless曝光机，作为VTEC集团的一员，将基于日本市场汲取的技术和经验，在中国市场开展业务。
