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精密坐标测定设备 Mercury (TP/CD)
FPD 是通过在巨大的玻璃基板上精确堆叠多层精细图案（例如细线和电极）而制成的。此外，LCD（液晶显示器）和OLED（有机EL显示器）是通过在TFT（薄膜晶体管）基板上叠加滤色器（CF）基板和气相沉积掩模，经过各种工艺完成的。
Mercury 是一种坐标测量设备，可在需要叠加精度的 FPD 制造过程中以亚微米精度测量高达 3m x 3.4m 的各种基板。它还支持几微米的微小像素图案的尺寸测量，这在制造用于智能手机的高清 OLED 时是必需的。
从 2000 年开始销售至今，它拥有非常高的交付记录，并且现在仍然受到高度评价。
- 产品描述
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应用
FPD主要制造过程中的尺寸控制，以及光掩模和气相沉积掩模的尺寸控制。