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光罩外观检查设备 Gemini(AOI)
由于中小尺寸OLED的产量以及使用G10.5（约3m x 3.4m）母玻璃的FPD产量的增加，促进显示器的光掩模高精细化和大型化发展。光罩检测装置Gemini是一种简化的高精度X轴导气装置，与高刚性石材台面立体紧密结合的主动隔振台，高精度高刚性光罩支架，先进的旋转结构，除了陶瓷垂直导流器等V-TECHNOLOGY先进技术和内部CAD数据库转换电路进行比较检测外，还具备“mura映射”和“微接触孔高灵敏度检测功能”等先进的逻辑图像处理引擎，提供高速、高精度的外观检测，满足 8K 显示器和中小型有机 EL 显示器的光掩模需求。 此外，该设计足够灵活以适应工厂布局，例如半内置隔振台和包含薄膜处理系统的平面，以便实现对 AGV 的直接访问。
光罩缺陷修正设备 Sculptor(Repair)
Sculptor是专门用于FPD光掩模缺陷修正的缺陷修正设备。 开放缺陷（丢失或丢失图案）可以通过气体窗口激光 CVD 进行修正。此外，它还配备了针对修复短缺陷（异常图案连接）的激光器，可实现高质量的缺陷修正。它还支持具有半色调图案（光穿过金属膜的图案）的光掩模缺陷修正。
精密坐标测定设备 Mercury SHR
Mercury SHR 是可达到更高水平测量精度的光掩模坐标测量设备。该设备采用了多种技术来测量具有纳米分辨率的巨型光掩模。具有高定位精度和高平坦度的空气滑块和测量台、以纳米控制工作台位置的激光干涉仪和线性编码器、以及对环境影响小等先进的光机电一体化技术，使用先进的光学机械系统实现了更高水平的测定精度。另外，使用测定软件进行精度校正，进一步修正误差因素，保证测量的高精度和再现性。
