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光罩缺陷修正设备 Sculptor(Repair)
Sculptor是专门用于FPD光掩模缺陷修正的缺陷修正设备。
开放缺陷（丢失或丢失图案）可以通过气体窗口激光 CVD 进行修正。此外，它还配备了针对修复短缺陷（异常图案连接）的激光器，可实现高质量的缺陷修正。它还支持具有半色调图案（光穿过金属膜的图案）的光掩模缺陷修正。
- 产品描述
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Sculptor是专门用于FPD光掩模缺陷修正的缺陷修正设备。
开放缺陷（丢失或丢失图案）可以通过气体窗口激光 CVD 进行修正。此外，它还配备了针对修复短缺陷（异常图案连接）而优化的激光器，可实现高质量的缺陷修正。它还支持具有半色调图案（光穿过金属膜的图案）的光掩模缺陷修正。
* 半色调图案透射照明的观察图像
（遮光部分显示为黑色，透光部分显示为灰色，半透明部分显示为深灰色）