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微小尺寸测定设备 Venus(CD)

随着 FPD(平板显示器)、TFT(薄膜晶体管)的不断高精细化、复杂化,微尺寸测量设备作为良率管理工具也变得越来越重要。 Venus是一款微尺寸测量机,可测量高达3m x 3.4m的各种基板,具有亚微米精度,支持各种测量要求。
  • 产品描述
  • 应用

     FPD的主要制造工艺和光掩模、金属掩模等的尺寸控制。