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检测设备系列
Nano System Solutions (NSS)于2019年成为VTEC集团的全资子公司。NSS主要面向国内市场提供Wafer Edge/正反面检查设备、Nanotography检查设备、以及Maskless曝光机，作为VTEC集团的一员，将基于日本市场汲取的技术和经验，在中国市场开展业务。
- 产品描述
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采用先进光学技术和图像处理技术的晶片外观检查装置，实现了对晶片内部和外部产生的各种缺陷的高精度、高速化检查，获得了客户的高度评价。
产品特点：
・达到较高等级的描绘分辨率和处理速度
・复合机吞吐量达到100wafers/hr
通过测量和管理微小的凹凸和Edge roll off形状、在Lithography、CMP等工程中帮助提高良率。
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