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大型玻璃基板曝光设备 RZ
大型玻璃基板曝光设备RZ是CF（彩色滤光片）工艺的核心曝光设备，在FPD（平板显示器）生产中很重要。RZ是基于NSK Technology于1994年发布的用于BM（Black Matrix）工艺的曝光设备。此后随着FPD的演进不断发展并取得成果，并于2018年制造并售出一台兼容G10.5的机器（约3m x 4m）。
- 产品描述
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特征
高精度和高吞吐量
通过反复改进对准系统和曝光光学系统，我们实现了良好的位置精度和高曝光均匀性（很大程度降低了有效曝光范围内的线宽变化）。可靠性
我们对TCC的先进性、检测功能的增加以及软件的反复改进以减少因缺陷造成的停机时间，获得了客户的高度评价。
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