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精密坐标测定设备 Mercury SHR
Mercury SHR 是可达到更高水平测量精度的光掩模坐标测量设备。该设备采用了多种技术来测量具有纳米分辨率的巨型光掩模。具有高定位精度和高平坦度的空气滑块和测量台、以纳米控制工作台位置的激光干涉仪和线性编码器、以及对环境影响小等先进的光机电一体化技术，使用先进的光学机械系统实现了更高水平的测定精度。另外，使用测定软件进行精度校正，进一步修正误差因素，保证测量的高精度和再现性。
