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光罩外观检查设备 Gemini(AOI)
由于中小尺寸OLED的产量以及使用G10.5（约3m x 3.4m）母玻璃的FPD产量的增加，促进显示器的光掩模高精细化和大型化发展。光罩检测装置Gemini是一种简化的高精度X轴导气装置，与高刚性石材台面立体紧密结合的主动隔振台，高精度高刚性光罩支架，先进的旋转结构，除了陶瓷垂直导流器等V-TECHNOLOGY先进技术和内部CAD数据库转换电路进行比较检测外，还具备“mura映射”和“微接触孔高灵敏度检测功能”等先进的逻辑图像处理引擎，提供高速、高精度的外观检测，满足 8K 显示器和中小型有机 EL 显示器的光掩模需求。
此外，该设计足够灵活以适应工厂布局，例如半内置隔振台和包含薄膜处理系统的平面，以便实现对 AGV 的直接访问。
- 产品描述
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由于中小尺寸OLED产量以及使用G10.5（约3m x 3.4m）母玻璃的FPD产量的增加，促进显示器的光掩模高精细化和大型化发展。
光罩检测装置Gemini是一种简化的高精度X轴导气装置，与高刚性石材台面立体紧密结合的主动隔振台，高精度高刚性光罩支架，先进的旋转结构，除了陶瓷垂直导流器等V-TECHNOLOGY先进技术和内部CAD数据库转换电路进行比较检测外，还具备“mura映射”和“微接触孔高灵敏度检测功能”等先进的逻辑图像处理引擎，提供高速、高精度的外观检测，满足 8K 显示器和中小型有机 EL 显示器的光掩模需求。
此外，该设计足够灵活以适应工厂布局，例如半内置隔振台和包含薄膜处理系统的平面，以实现对 AGV 的直接访问。
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