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全自动MRAM探针系统
集团公司OHT正在推进半导体非接触式电气检查设备业务,采用FPD用O/S测试仪中掌握的非接触电气检查技术的半导体检查装置,特别是先进设计的MRAM检查装置得到了很高的评价,实现了MRAM全自动检测的商业化。
- 产品描述
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集团公司OHT正在推进半导体非接触式电气检查设备业务,采用FPD用O/S测试仪中掌握的非接触电气检查技术的半导体检查装置,特别是先进设计的MRAM检查装置得到了很高的评价,实现了MRAM全自动检测的商业化。
特征:
1、可以全自动测量 MRAM 特性;
2、可产生强而均匀的磁场(高达1.5T);
3、采用非磁性晶圆吸盘,可实现磁场的高速扫描(最大4Hz,±1T)。
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