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外观检查设备 Capricorn(AOI)
Capricorn 是一种用于 FPD 制造过程的自动外观检测设备。由专用线阵CCD相机拍摄的图像信息，通过高性能图像处理装置进行分析，瞬间输出缺陷信息（位置、有无、形状、OK/NG等）。 缺陷信息用于分析过程中的问题和良率管理。例如，缺陷信息被扩展运用到检测设备下游的缺陷校正设备。此外，从缺陷发生的位置和内容上可以立即掌握上游工艺中的具体装置及缺陷发生了故障。 从 2002 年推出至今，该设备已广泛用于 FPD（平板显示器）的多种制造工艺，可处理最大约 3 x 3.4 m 的玻璃基板。特别是在LCD（液晶显示器）制造过程中的CF（彩色滤光片）工艺和CELL工艺（TFT基板和彩色滤光片基板的贴合工艺），以及模块工艺中被广泛应用。
彩膜缺陷修正设备 Jupiter(CF Repair)
Jupiter是修正FPD制造工序中产生的缺陷的装置，例如修正成膜时产生的突起状缺陷、膜内混入异物、像素和布线图案缺失等多种缺陷。通过使用先进开发的多功能校正头和高速载物台，可以高精度、高速地校正缺陷。此外，它还配备了高性能显微镜，可以根据缺陷的形状进行适当的放大，让您以清晰的图像观察和分析缺陷。 Jupiter 自 1999 年推出以来一直被所有参与 FPD 制造的客户使用，由于修正品质高、可靠性高、运用方便等原因，特别是在彩色滤色片（CF）工程方面取得了很高的交货业绩，现在也获得了很高的评价。
TFT 缺陷修正设备 Taurus (TFT Repair)
TFT（Thin Film Transistor）工艺是FPD制造工艺中极为重要和复杂的工艺。LCD（液晶显示器）和OLED（有机EL显示器）的性能和质量很大程度上受TFT所用技术和质量的影响。 Taurus 是一种缺陷校正设备，并随着显示器的发展，不断提高精细化、高难度化的TFT 制造的良率管理 ， 通过气窗激光CVD可以局部形成金属膜，并修正金属布线中的开路缺陷。除了通过应用导电材料来修正缺陷外，还可以使用高性能激光进行高精度和低损坏的修正。此外，通过采用高速载物台，即使对于尺寸为 3m x 3.4m 的玻璃基板，也缩短了对其处理时间。
精密坐标测定设备 Mercury (TP/CD)
FPD 是通过在巨大的玻璃基板上精确堆叠多层精细图案（例如细线和电极）而制成的。此外，LCD（液晶显示器）和OLED（有机EL显示器）是通过在TFT（薄膜晶体管）基板上叠加滤色器（CF）基板和气相沉积掩模，经过各种工艺完成的。 Mercury 是一种坐标测量设备，可在需要叠加精度的 FPD 制造过程中以亚微米精度测量高达 3m x 3.4m 的各种基板。它还支持几微米的微小像素图案的尺寸测量，这在制造用于智能手机的高清 OLED 时是必需的。 从 2000 年开始销售至今，它拥有非常高的交付记录，并且现在仍然受到高度评价。
微小尺寸测定设备 Venus(CD)
随着 FPD（平板显示器）、TFT（薄膜晶体管）的不断高精细化、复杂化，微尺寸测量设备作为良率管理工具也变得越来越重要。 Venus是一款微尺寸测量机，可测量高达3m x 3.4m的各种基板，具有亚微米精度，支持各种测量要求。
