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TFT 缺陷修正设备 Taurus (TFT Repair)
TFT（Thin Film Transistor）工艺是FPD制造工艺中极为重要和复杂的工艺。LCD（液晶显示器）和OLED（有机EL显示器）的性能和质量很大程度上受TFT所用技术和质量的影响。
Taurus 是一种缺陷校正设备，并随着显示器的发展，不断提高精细化、高难度化的TFT 制造的良率管理 ，
通过气窗激光CVD可以局部形成金属膜，并修正金属布线中的开路缺陷。除了通过应用导电材料来修正缺陷外，还可以使用高性能激光进行高精度和低损坏的修正。此外，通过采用高速载物台，即使对于尺寸为 3m x 3.4m 的玻璃基板，也缩短了对其处理时间。
- 产品描述
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应用
FPD的主要制造工艺
LCD、OLED TFT工艺等* 高清晰度和产量
更高的清晰度会增加像素密度并使图案更精细。可以忽略的大小的异物由于像素密度的增加而成为缺陷，导致缺陷。为了减少这种产量的下降，需要更高性能的校正设备。