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Litho Tech Japan 自成立以来,专注于光刻技术的研究,拥有非常全面的光刻技术,包含硬件、软件和工艺,提供高性能的光刻工艺设备和光刻胶分析设备。2021年成为VTEC全资子公司,加入半导体材料生产、研发的设备及光刻技术事业,不断创新,提供满足客户需要的产品和服务
自动显影烘烤装置 LITHOTRAC CB-50
自动显影烘烤装置 LITHOTRAC DB-50
树脂分析器RDA-760
光刻胶显影分析器 RDA-790
光刻胶显影分析仪RDA-800
光刻胶平面曝光装置 VUVES-4700