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自动显影烘烤装置 LITHOTRAC DB-50
Litho Tech Japan 自成立以来,专注于光刻技术的研究,拥有非常全面的光刻技术,包含硬件、软件和工艺,提供高性能的光刻工艺设备和光刻胶分析设备。2021年成为VTEC全资子公司,加入半导体材料生产、研发的设备及光刻技术事业,不断创新,提供满足客户需要的产品和服务
- 产品描述
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从PEB加工到显影、清洗、硬烤后,可连续进行稳定处理。除了碱性显影规格之外,我们还推出了考虑到安全性和易用性的有机显影规格。此外,我们根据各种显影方式和基板形状为客户设计更适合的设备。
特征:
根据应用提供降低喷射压力的显影喷嘴、可编程摆动喷嘴、重复显影功能、高温/低温显影等规格。
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