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自动显影烘烤装置 LITHOTRAC CB-50
Litho Tech Japan 自成立以来，专注于光刻技术的研究，拥有非常全面的光刻技术，包含硬件、软件和工艺，提供高性能的光刻工艺设备和光刻胶分析设备。2021年成为VTEC全资子公司，加入半导体材料生产、研发的设备及光刻技术事业，不断创新，提供满足客户需要的产品和服务
- 产品描述
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它是一种自动旋涂设备，根据工艺和各种材料的功能，执行涂布处理工艺。
除半导体器件制造商外，还应用于从半导体制造设备、材料、基板、掩模等制造商的研发部门到生产应用的广泛领域。特征：
可提供从化学增幅光刻胶（ArF）到厚膜光刻胶、聚酰亚胺等各种涂膜对应的模型和选项。