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光配向膜曝光设备 AEGIS
AEGIS是CELL工艺（TFT基板与彩膜基板贴合工艺）的核心制造设备，在液晶显示器的制造中占有重要地位。该设备是一种形成称为配向膜的功能性聚合物膜的设备，该膜使用特殊的紫外线和小型光掩模将显示器内部的液晶分子定向到某个方向。
可以准确、均匀地扫描曝光在涂有薄薄一层功能性高分子膜的母玻璃（最大约 3m x 4m）上，实现高生产率和均匀的曝光质量。另外，与传统的“摩擦法”相比，由于取向膜是利用光以非接触方式形成的，因此原则上不会出现异物和划痕等缺陷，并且可以大幅提高成品率。
- 产品描述
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特征
高对准精度
使用CCD相机查看实际图案的同时实时校正曝光，实现±1.5μm的曝光位置精度。原则上不会发生常见缺陷
由于先进的扫描曝光，原则上不会发生由于微小灰尘和异物引起的常见缺陷。降低光罩成本
较大的光掩模生产成本更高，而且往往更贵。AEGIS可以用小光罩曝光，可以显著降低光罩成本。高生产力
它使用气流传输技术以稳定的传输速度实现高精度的连续扫描曝光，与传统设备相比，可以期待更高的生产率。
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