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Maskless曝光机
Maskless曝光机采用作为空间光调制器之一的数字微镜装置（Digital Micromirror Device：DMD）作为曝光图案生成器，这是一种将DMD上放映的图案数据缩小投影到光刻胶上的数字曝光装置。因为可以直接曝光在电脑上制作的曝光数据，所以可以自由地创建曝光模式。
- 产品描述
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Maskless曝光机采用作为空间光调制器之一的数字微镜装置（Digital Micromirror Device：DMD）作为曝光图案生成器，这是一种将DMD上放映的图案数据缩小投影到光刻胶上的数字曝光装置。因为可以直接曝光在电脑上制作的曝光数据，所以可以自由地创建曝光模式。
通过结合静止画投影步骤的重复曝光和滚动动画的高速扫描曝光的先进曝光方式，不仅可以对平面基板，也可以对复杂的立体构造物进行曝光。
通过微镜时间调制的灰度显示功能，可以在不使用半色调掩模或灰度掩模的情况下，在光刻胶上处理复杂精细的三维形状。
特点：
1、最小标准像点 0.5um（也可根据要求提供 1 μm 或 2 μm）；
2、曝光光源采用LED或半导体激光（LD），实现了长效地高可维护性；
3、配备先进的实时自动对焦功能，也支持薄透明基板
4、可以进行 3D (3D) 绘图
应用实例：
1、开发各种半导体器件、小批量、高混合器件生产线
2、各种传感器的制造
2、压印模具制造
4、大型显示器用光掩模的制造
5、接触 3D 结构
6、胶片样品曝光
7、半导体用光掩模的制造（二元/相移）