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Roll to Roll 曝光设备 DZ

DZ 是一种紧密接触型曝光设备，最适合用于 IC 引线框架、HDD 悬挂负载梁和 OLED 气相沉积掩模的曝光。除了采用垂直输送垂直曝光方式的设备外，还有支持水平输送水平曝光的机型和单晶圆型机型，可兼容多种应用。
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产品编号
所属分类
FPD制造设备
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Product description

特征

高精度贴合

先进的真空接触方式实现了高精度的紧密接触曝光，接触不均匀性很小。
 

高精准度

实现了出色的工件前后对齐精度和图案连接精度。
 
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光配向膜曝光设备 AEGIS

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