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Maskless曝光机采用作为空间光调制器之一的数字微镜装置（Digital Micromirror Device：DMD）作为曝光图案生成器，这是一种将DMD上放映的图案数据缩小投影到光刻胶上的数字曝光装置。因为可以直接曝光在电脑上制作的曝光数据，所以可以自由地创建曝光模式。
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VTEC集团于2018年4月，与海宁瑞美科技有限公司等合资成立了浙江芯晖装备技术有限公司（Z-CSET），总部位于浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区。运用日本的技术、本公司集团的设计、制造能力、在中国当地制造等特色，灵活迅速地实现满足客户交期、品质、性能、成本等各种要求的中国制装置。
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VTEC集团于2018年4月，与海宁瑞美科技有限公司等合资成立了浙江芯晖装备技术有限公司（Z-CSET），总部位于浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区。运用日本的技术、本公司集团的设计、制造能力、在中国当地制造等特色，灵活迅速地实现满足客户交期、品质、性能、成本等各种要求的中国制装置。
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Nano System Solutions (NSS)于2019年成为VTEC集团的全资子公司。NSS主要面向国内市场提供Wafer Edge/正反面检查设备、Nanotography检查设备、以及Maskless曝光机，作为VTEC集团的一员，将基于日本市场汲取的技术和经验，在中国市场开展业务。
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集团公司OHT正在推进半导体非接触式电气检查设备业务，采用FPD用O/S测试仪中掌握的非接触电气检查技术的半导体检查装置，特别是先进设计的MRAM检查装置得到了很高的评价，实现了MRAM全自动检测的商业化。
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集团公司OHT正在推进半导体非接触式电气检查设备业务，采用FPD用O/S测试仪中掌握的非接触电气检查技术的半导体检查装置，特别是先进设计的MRAM检查装置得到了很高的评价，实现了MRAM全自动检测的商业化。
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